檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "潘漢昌".ccommittee (精準) and year="94"
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本研究利用改良式溶膠-凝膠法製備鋯鈦酸鉛(PZT)鐵電厚膜,使用二氧化碳雷射退火製程將厚膜非晶相結構轉換成具鐵電特性之鈣鈦礦結構,並與爐管退火作為比較。實驗中利用溶膠-凝膠法製備出500℃ ~ 75…
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本文採用430型不銹鋼(SUS430)取替Pt電極與矽晶片基板,搭配CO2低溫雷射退火製程,以改善傳統爐管之退火中導致元件產生介面擴散與氧化等問題,使得PZT鐵電薄膜與LSMO氧化物電極能成功鍍製於…